Свойства медных проводящих пленок, осажденных методом ионного распыления в магнетронных системах в парах мишени

Выпуск 1, март 2019

Аннотация

В работе исследованы свойства пленок меди, осажденных на керамические подложки из нитрида алюминия методом ионного распыления в магнетронных системах в парах мишени. Измерена средняя скорость осаждения пленок, которая составила ~10 мкм/мин на неподвижную подложку, и обнаружена ее невоспроизводимость от процесса к процессу. Проведены измерения шероховатости и твердости полученных пленок. Поверхность образцов исследована на электронном микроскопе с рентгеновским микроанализатором, и определен химический состав  поверхностного слоя плени, в котором обнаружено присутствие материала тигля. Проведен морфологический анализ поверхности образцов методами сканирующей зондовой и растровой электронной микроскопии, в результате чего выявлены характерные дефекты. Обнаружена повышенная стойкость пленок меди к окислению на атмосфере при нагреве вплоть до 180оС и выдержке более 15 минут.

Сведения об авторах

Макарова Мария Владимировна

Макарова Мария Владимировна

Магистрант кафедры «Электронные технологии в машиностроении» МГТУ им. Н. Э. Баумана.

Список научных интересов: технология формирования тонкопленочных структур в вакууме, осаждение толстых пленок различных материалов с высокими скоростями в вакууме, вакуумное технологическое оборудование

Моисеев Константин Михайлович

Моисеев Константин Михайлович

Кандидат технических наук, доцент кафедры «Электронные технологии в машиностроении» МГТУ им. Н. Э. Баумана.

Список научных интересов: технология формирования тонкопленочных структур в вакууме, реактивное магнетронное ВЧ распыление, ионно-лучевая обработка, вакуумное технологическое оборудование, функциональные покрытия в инновационных устройствах.