Иляков Е.В., Кулагин И.С., Нечаев В. Е., Шевченко А.С.

Мультипакторный разряд, возникающий в мощной вакуумной СВЧ аппаратуре, способен как нелинейное явление генерировать гармоники излучения в пассивных волноводных системах. В статье приводятся результаты измерения спектра излучения разряда в скрещенных сверхвысокочастотном электрическом и статическом магнитном полях, который может развиваться в мощных СВЧ приборах с магнитным сопровождением электронного пучка.

Брылёва Д.Н., Вашин С.А., Климова Н.Н., Корепин Г.Ф.

В работе рассмотрены некоторые проблемы, которые возникают в процессе откачки и обезгаживания ЭВП на откачном посту. Показаны способы контроля процесса откачки, возможности применения магнитного электроразрядного насоса (МЭН) в качестве средства откачки и преобразователя давления, определения давления, соответствующего молекулярному течению газа в ЭВП на любом этапе откачки, оптимизации некоторых процессов откачки, измерения проводимости вакуумной системы откачного поста.

Фомин Д.М., Чернышенко А.А.

В статье рассматриваются основные проблемы создания эталонной базы единицы потока газа в вакууме, а также перспективные разработки в данной области измерений.

Шаповалов В.И., Иванцов М.О., Шарковский Д.С.

В статье представлены результаты исследования тепловых процессов при распылении сэндвич мишени, содержащей медную и титановую пластины. Эксперименты показали, что кинетические кривые нагревания подложки имеют точки перегиба, расположенные на оси времени пропорционально плотности тока разряда и давлению аргона. Установлено, что точка перегиба на каждой кривой появлялась из-за конечного значения постоянной времени нагревания внешней пластины сэндвич мишени. Влияние мишени на кинетику нагревания подложки учтено в аналитическом описании дополнительным экспоненциальным множителем

Базиненков А.М., Иванова Д.А., Макеев И.В., Ротарь А.П.

В работе описаны экспериментальные исследования частотных характеристик магнитореологических демпферов, входящих в состав платформы активной виброизоляции прецизионного вакуумного исследовательского и технологического оборудования. Для каждого из четырех МРЭ демпферов платформы проводились вибрационные испытания в диапазоне частот от 15 до 200 Гц с постоянной амплитудой виброперемещений. Получены зависимости коэффициента передачи амплитуды виброперемещений от частоты для каждого из четырех демпферов при различных значениях управляющего тока на катушке индуктивности демпфера, а также графики изменения резонансных частот и КПАВ в зависимости от управляющего сигнала.

Одиноков В.В.

Рассмотрены актуальные вакуумно-плазменные процессы и экспериментальное оборудование: атомно-слоевое осаждение, плазмохимическое травление, формирование мелкощелевой изоляции и очистка поверхности пластин.

Беликов А.И., До Тхи Ньян, Чжо Зин Пьо

Представлены результаты АСМ-исследований тонких пленок дисульфида молибдена, полученных методом магнетронного распыления мишени в вакууме на подложках кремния, а также авторская методика оценки структурных особенностей и планарности пленок анизотропной структуры.

Жуков Р.М., Ибрагимов А.Р., Панфилова Е.В.

Перспективным способом получения массивов наночастиц и двумерных фотонных кристаллов является наносферная литография. В работе представлены результаты экспериментальных исследований процесса формирования фотоннокристаллического коллоидного слоя, выполняющего роль маски. Наиболее технологичным способом формирования такой структуры является метод вертикального вытягивания подложки из коллоидного раствора. За счет варьирования параметрами раствора и скоростью движения подложки метод позволяет получать фотоннокристаллические пленки с заданными характеристиками. В работе представлены результаты оптимизации процесса формирования пленок.

Смоланов Н.А.

В  работе представлен обзор результатов исследования структур дугового вакуумного разряда. Они осаждены на стенках вакуумной камеры. Проведен анализ  процессов в  низкотемпературной плазме дугового разряда, отвечающих, вероятно, за появление и рост фрактальных структур.  В основе анализа лежат фундаментальные теоретические и экспериментальные результаты магнитной гидродинамики (плазмодинамики). Показано, что теория фрактала приобретает основную роль при объяснении коллективного поведения сложных систем.

Макарова М.В., Моисеев К.М.

В работе исследованы свойства пленок меди, осажденных на керамические подложки из нитрида алюминия методом ионного распыления в магнетронных системах в парах мишени. Измерена средняя скорость осаждения пленок, которая составила ~10 мкм/мин на неподвижную подложку, и обнаружена ее невоспроизводимость от процесса к процессу. Проведены измерения шероховатости и твердости полученных пленок. Поверхность образцов исследована на электронном микроскопе с рентгеновским микроанализатором, и определен химический состав  поверхностного слоя плени, в котором обнаружено присутствие материала тигля. Проведен морфологический анализ поверхности образцов методами сканирующей зондовой и растровой электронной микроскопии, в результате чего выявлены характерные дефекты. Обнаружена повышенная стойкость пленок меди к окислению на атмосфере при нагреве вплоть до 180^оС и выдержке более 15 минут.

Жировов Е.В., Кобзев В.А., Феимов Ф.А., Чубаров О.Е

В статье приведены результаты экспериментального исследования влияния конденсата атмосферной влаги, образующейся при термоциклировании, на кинетику обезгаживания испытуемой зоны и изложены основы технологии локальных низкотемпературных испытаний на герметичность участка криогенного гелиевого коллектора.

Елинсон В.М., Лямин А.Н., Щур П.А.

В работе приводится сравнительный анализ параметров рельефа (Rq) наноструктурированных фторуглеродных поверхностей, сформированных на поверхности ПЭТФ из плазмообразующих смесей CF4+C6H12 и C4F8+C6H12. Измерение параметров рельефа проводилось с помощью сканирующего зондового микроскопа SolverNext (NTMDT, г. Зеленоград) с АСМ головкой. Было установлено исходя из анализа скоростей нанесения фторуглеродного покрытия с помощью микроскопа МИИ-4 наличие области переходных процессов при использовании плазмообразующей смеси C4F8 + C6H12. Был обнаружен специфический рельеф в области переходных процессов при использовании газовой смеси C4F8+C6H12, который сопровождается стойкостью к плесневым грибам.

Предтеченский П.О.

Система автоматизированной пункции сосудов позволяет проводить основные лабораторные исследования крови. Система предназначена для использования как в больницах и станциях переливания крови, так и в местах ЧС. С помощью коаксиальной иглы система измеряет импеданс окружающей среды и таким образом распознает момент прокола сосуда. Традиционные методы пункции сосудов зачастую приводят к осложнениям, риски которых позволяет минимизировать система автоматизированной пункции сосудов.

Коннов А.В., Кочнев В.И., Смирнов В.А., Шешин Е.П.

Рассмотрены различные типы активированных автоэмиссионных катодов с подачей эмиссионно-активных компонентов на эмиттер из постороннего источника и изнутри материала эмиттера. Показаны возможные пути снижения работы выхода автоэмиссионных катодов.

Нестеров С.Б.

Описываются отдельные эпизоды, связанные с поездками академика С.А.Векшинского для отдыха в Доме творчества композиторов на берегу Ладожского озера.