Применение встроенного магнитного электроразрядного насоса в процессе откачки ЭВП

Выпуск 1, март 2019

Аннотация

В работе рассмотрены некоторые проблемы, которые возникают в процессе откачки и обезгаживания ЭВП на откачном посту. Показаны способы контроля процесса откачки, возможности применения магнитного электроразрядного насоса (МЭН) в качестве средства откачки и преобразователя давления, определения давления, соответствующего молекулярному течению газа в ЭВП на любом этапе откачки, оптимизации некоторых процессов откачки, измерения проводимости вакуумной системы откачного поста.

Сведения об авторах

Брылёва Дарья Николаевна

Брылёва Дарья Николаевна

Научные интересы: физико-химические процессы в вакууме, причины возникновения токов утечки в вакууме, проблемы откачки электровакуумных приборов, высоковольтной тренировки и течеискания отпаянных ЭВП.

Вашин Сергей Александрович

Вашин Сергей Александрович


Научные интересы: физико-химические процессы в вакууме, причины возникновения токов утечки в вакууме, проблемы откачки электровакуумных приборов, высоковольтной тренировки и течеискания отпаянных ЭВП, расширение областей применения вакуумной техники.

Климова Надежда Николаевна

Климова Надежда Николаевна

Научные интересы: физико-химические процессы в вакууме, причины возникновения токов утечки в вакууме, проблемы откачки электровакуумных приборов, высоковольтной тренировки и течеискания отпаянных ЭВП.

Корепин Геннадий Федосиевич

Корепин Геннадий Федосиевич

Начальник технологической лаборатории, кандидат технических наук.

Научные интересы: физико-химические процессы в вакууме, причины возникновения токов утечки в вакууме, проблемы откачки электровакуумных приборов, высоковольтной тренировки и течеискания отпаянных ЭВП, расширение областей применения вакуумной техники.