Свойства медных проводящих пленок, осажденных методом ионного распыления в магнетронных системах в парах мишени
Аннотация
В работе исследованы свойства пленок меди, осажденных на керамические подложки из нитрида алюминия методом ионного распыления в магнетронных системах в парах мишени. Измерена средняя скорость осаждения пленок, которая составила ~10 мкм/мин на неподвижную подложку, и обнаружена ее невоспроизводимость от процесса к процессу. Проведены измерения шероховатости и твердости полученных пленок. Поверхность образцов исследована на электронном микроскопе с рентгеновским микроанализатором, и определен химический состав поверхностного слоя плени, в котором обнаружено присутствие материала тигля. Проведен морфологический анализ поверхности образцов методами сканирующей зондовой и растровой электронной микроскопии, в результате чего выявлены характерные дефекты. Обнаружена повышенная стойкость пленок меди к окислению на атмосфере при нагреве вплоть до 180оС и выдержке более 15 минут.