Параметры рельефа наноструктурированных фторуглеродных барьерных слоев, сформированных из газовой смеси C4F8 + C6H12,на поверхности ПЭТФ
Елинсон В.М., Лямин А.Н., Щур П.А.
Ключевые слова:
Аннотация
В работе приводится сравнительный анализ параметров рельефа (Rq) наноструктурированных фторуглеродных поверхностей, сформированных на поверхности ПЭТФ из плазмообразующих смесей CF4+C6H12 и C4F8+C6H12. Измерение параметров рельефа проводилось с помощью сканирующего зондового микроскопа SolverNext (NTMDT, г. Зеленоград) с АСМ головкой. Было установлено исходя из анализа скоростей нанесения фторуглеродного покрытия с помощью микроскопа МИИ-4 наличие области переходных процессов при использовании плазмообразующей смеси C4F8 + C6H12. Был обнаружен специфический рельеф в области переходных процессов при использовании газовой смеси C4F8+C6H12, который сопровождается стойкостью к плесневым грибам.
Elinson V.M., , Shchur P.A.
Keywords: