Особенности АСМ-исследований тонких пленок MoS2, формируемых распылением катодной мишени в вакууме

Беликов А.И., До Тхи Ньян, Чжо Зин Пьо
Ключевые слова:

Аннотация

Представлены результаты АСМ-исследований тонких пленок дисульфида молибдена, полученных методом магнетронного распыления мишени в вакууме на подложках кремния, а также авторская методика оценки структурных особенностей и планарности пленок анизотропной структуры.

, ,
Keywords:

Abstract