Перспективные вакуумно-плазменные процессы и экспериментальное оборудование

Одиноков В.В.
Ключевые слова:

Аннотация

Рассмотрены актуальные вакуумно-плазменные процессы и экспериментальное оборудование: атомно-слоевое осаждение, плазмохимическое травление, формирование мелкощелевой изоляции и очистка поверхности пластин.

Odinokov V.V.
Keywords:

Abstract