Авторы

Панфилов Юрий Васильевич

Панфилов Юрий Васильевич

Заведующий кафедрой «Электронные технологии в машиностроении» МГТУ им. Н.Э. Баумана, доктор технических наук, профессор.

Панфилова Екатерина Вадимовна

Панфилова Екатерина Вадимовна

Кандидат технических наук, доцент кафедры "Электронные технологии в машиностроении" МГТУ им. Н. Э. Баумана .

Область научных интересов: процессы самоорганизации, технология наноструктур.

Предтеченский Павел Олегович

Предтеченский Павел Олегович

Магистрант кафедры «Электронные технологии в машиностроении» МГТУ им. Н. Э. Баумана. Работает в лаборатории «Вакуммное технологическое оборудование».

Ротарь Анастасия Павловна

Ротарь Анастасия Павловна

Место учебы - МГТУ им. Н.Э.Баумана, кафедра "Электронные технологии в машиностроении", специальность "Электроника и наноэлектроника", лаборатория: "Системы микро- и нанопозиционирования"

Смирнов Вячеслав Александрович

Смирнов Вячеслав Александрович

Доктор технических наук, профессор, лауреат Государственной премии СССР.

Область научных интересов: создание новых технологий изготовления  катодов, катодных узлов и эмиссионных материалов вакуумных приборов СВЧ, исследование физико-химических процессов в эмиссионных материалах.

Смоланов Николай Александрович

Смоланов Николай Александрович

Кандидат физико-математических наук, доцент.

С 1976 по настоящее время работает на кафедре физики твердого тела МГУ им. Н.П.Огарева, г. Саранск, Мордовия.

Области научных интересов: физика твердого тела; физика поверхности; физика плазмы, ионно-плазменная обработка поверхности; тонкие пленки, наноструктуры и их термический анализ, рентгенография, ЭПР и ИК- спектроскопия, триботехника.

Феимов Фархи Аккыевич
Фомин Дмитрий Михайлович

Фомин Дмитрий Михайлович

Руководитель группы вакуумных измерений ФГУП «ВНИИМ им. Д.И. Менделеева». В 2006 г. окончил СПбГУ ИТМО по специальности приборостроение. Научные интересы: измерение низкого абсолютного давления (вакуума); измерение молекулярных потоков газа в вакууме; создание и разработка эталонных комплексов для измерения вакуума и молекулярных потоков газа в вакууме. Участник конференций по вакуумной технике и метрологии.

Чернышенко Александр Александрович

Чернышенко Александр Александрович

Кандидат технических наук.

Руководитель лаборатории вакуумных измерений ФГУП «ВНИИМ им. Д.И. Менделеева».

В 2000 году окончил БГТУ «ВОЕНМЕХ им. Д.Ф. Устинова», факультет «Лазерная техника и технологии».

Научные интересы: обеспечение единства измерений в области вакуумных измерений, экономика, философия, история, социология, психология, религия.

Чжо Зин Пьо

Чжо Зин Пьо

Магистрант кафедры «Электронные технологии в машиностроении» МГТУ им. Н. Э. Баумана. Работает в лаборатории «Ионные технологии и нанокомпозитные покрытия». Место рождения – Депеирйн, Мьянма (Depayin, Myanmar).