Авторы
Панфилов Юрий Васильевич
Заведующий кафедрой «Электронные технологии в машиностроении» МГТУ им. Н.Э. Баумана, доктор технических наук, профессор.
Панфилова Екатерина Вадимовна
Кандидат технических наук, доцент кафедры "Электронные технологии в машиностроении" МГТУ им. Н. Э. Баумана .
Область научных интересов: процессы самоорганизации, технология наноструктур.
Предтеченский Павел Олегович
Магистрант кафедры «Электронные технологии в машиностроении» МГТУ им. Н. Э. Баумана. Работает в лаборатории «Вакуммное технологическое оборудование».
Ротарь Анастасия Павловна
Место учебы - МГТУ им. Н.Э.Баумана, кафедра "Электронные технологии в машиностроении", специальность "Электроника и наноэлектроника", лаборатория: "Системы микро- и нанопозиционирования"
Смирнов Вячеслав Александрович
Доктор технических наук, профессор, лауреат Государственной премии СССР.
Область научных интересов: создание новых технологий изготовления катодов, катодных узлов и эмиссионных материалов вакуумных приборов СВЧ, исследование физико-химических процессов в эмиссионных материалах.
Смоланов Николай Александрович
Кандидат физико-математических наук, доцент.
С 1976 по настоящее время работает на кафедре физики твердого тела МГУ им. Н.П.Огарева, г. Саранск, Мордовия.
Области научных интересов: физика твердого тела; физика поверхности; физика плазмы, ионно-плазменная обработка поверхности; тонкие пленки, наноструктуры и их термический анализ, рентгенография, ЭПР и ИК- спектроскопия, триботехника.
Фомин Дмитрий Михайлович
Руководитель группы вакуумных измерений ФГУП «ВНИИМ им. Д.И. Менделеева». В 2006 г. окончил СПбГУ ИТМО по специальности приборостроение. Научные интересы: измерение низкого абсолютного давления (вакуума); измерение молекулярных потоков газа в вакууме; создание и разработка эталонных комплексов для измерения вакуума и молекулярных потоков газа в вакууме. Участник конференций по вакуумной технике и метрологии.
Чернышенко Александр Александрович
Кандидат технических наук.
Руководитель лаборатории вакуумных измерений ФГУП «ВНИИМ им. Д.И. Менделеева».
В 2000 году окончил БГТУ «ВОЕНМЕХ им. Д.Ф. Устинова», факультет «Лазерная техника и технологии».
Научные интересы: обеспечение единства измерений в области вакуумных измерений, экономика, философия, история, социология, психология, религия.
Чжо Зин Пьо
Магистрант кафедры «Электронные технологии в машиностроении» МГТУ им. Н. Э. Баумана. Работает в лаборатории «Ионные технологии и нанокомпозитные покрытия». Место рождения – Депеирйн, Мьянма (Depayin, Myanmar).