Модеризация магнетронного узла установки вуп-11м для получения кристаллических плёнок
Моисеев К.М., Хыдырова С., Гусейнов Б. Р. , Лысов Л. Е.
Ключевые слова: МАГНЕТРОННОЕ РАСПЫЛЕНИЕ, ТОНКИЕ ПЛЁНКИ, СТЕПЕНЬ КРИСТАЛЛИЧНОСТИ, МАГНИТНОЕ ПОЛЕ, РАЗБАЛАНСИРОВАННЫЙ МАГНЕТРОН
Аннотация
Проведено компьютерное моделирование магнитного поля магнетронной распылительной системы лабораторной установки ВУП-11М и рассчитан коэффициент разбалансированности магнетрона.Upgrading the magnetron unit of the vup-11m setup for crystalline superconducting films fabrication
Moiseev K.M., S.Hydyrova, Guseynov B. R, Lysov L.E.
Keywords: MAGNETRON SPUTTERING, THIN FILMS, CRYSTALLINITY, MAGNETIC FIELD, UNBALANCED MAGNETRON