Ключевые слова: МАГНЕТРОННЫЕ РАСПЫЛИТЕЛЬНЫЕ СИСТЕМЫ, ИОННОЕ РАСПЫЛЕНИЕ, ЦИЛИНДРИЧЕСКИЙ МАГНЕТРОН

Аннотация

В работе представлены результаты разработки базовых элементов конструкции магнетронной распылительной системы с трубчатой мишенью. Выполнены выбор компоновки и моделирование магнитной системы с использованием программного обеспечения «ELCUT». Разработана конструкция магнитной системы с охлаждением, выполнен анализ ее эффективности и проведен тепловой расчет. Определены параметры системы охлаждения при поглощаемой мощности катода в диапазоне 1000…3500 Вт/м2.

Keywords: MAGNETRON SPUTTERING SYSTEM, ION SPUTTERING, CYLINDRICAL MAGNETRON

Abstract

The research presents the results of the development of basic design elements of magnetron sputtering system with a tubular target. Performed configuration selection and modeling of the magnetic system using the software “ELCUT”. The construction of the magnetic system with cooling is developed, analyzed its efficiency and carried out thermal calculation. Determined the parameters of the cooling system at the absorbed power of the cathode in the range of 1000...3500 W/m2.