Исследование газовыделения катодных мишеней для магнетронного распыления дисульфида молибдена
Беликов А.И., Ван Синьсинь , Хлобыстин Н. А., Илларионов А. И.
Ключевые слова: ГАЗОВЫДЕЛЕНИЕ, МАГНЕТРОННОЕ РАСПЫЛЕНИЕ, КАТОДНАЯ МИШЕНЬ, ДИСУЛЬФИД МОЛИБДЕНА
Аннотация
В работе представлены методика, экспериментальная техника и результаты исследования газовыделения распыляемых мишеней, изготовленных методом холодного прессования из порошка дисульфида молибдена. Изучена динамика газовыделения из мишеней в процессе их обезгаживания при длительном нахождении в вакууме.Gas emission investigation of the molybdenum disulfide cathode targets for magnetron sputtering processes
, X. Wang, N.A. Khlobystin, A.I. Illarionov
Keywords: GAS EMISSION, MAGNETRON SPUTTERING, CATHODE TARGET, MOLYBDENUM DISULFIDE