Ключевые слова: СИЛЬНОТОЧНОЕ ИМПУЛЬСНОЕ МАГНЕТРОННОЕ РАСПЫЛЕНИЕ, ИСТОЧНИК ПИТАНИЯ

Аннотация

Представлена электрическая схема питания магнетронной распылительной системы, позволяющая реализовать импульсный комбинированный режим распыления графита. Формирование импульсов высокой мощности происходит при достижении на разрядном конденсаторе схемы питания напряжения 600-700 В. Затем формируется сильноточный магнетронный разряд, который при значении тока ~ 400-500 А переходит в дуговую стадию с током разряда до 3 кА. После чего формируется импульс положительной полярности, ускоряющий ионы углерода. Электрическая дуга является источником ионов углерода, энергия которых определяется амплитудой положительного импульса.

Keywords: HIPIMS, POWER SUPPLY

Abstract

An electrical power supply circuit for a magnetron sputtering system is presented, which makes it possible to implement a pulsed combined mode of graphite sputtering. The formation of high power pulses occurs when the voltage on the discharge capacitor of the power supply reaches 600-700 V. Then a high-current magnetron discharge is formed, which, at a current of ~ 400–500 A transits into an arc stage of discharge with current of up to 3 kA. After that, a pulse of positive polarity is formed, accelerating carbon ions. The electric arc is a source of carbon ions, the energy of which is determined by the amplitude of the positive pulse.