Ключевые слова: ВАКУУМНЫЙ ПРИЖИМ, НАНЕСЕНИЕ ФОТОРЕЗИСТА, ЦЕНТРИФУГИРОВАНИЕ

Аннотация

В статье рассмотрена разработка варианта крепления подложки на столике стенда для нанесения жидкого фоторезиста методом центрифугирования. Описана конструкция модели и его основные компоненты. Приведены рабочие чертежи разработанных деталей. Проанализированы характеристики насосов для создания вакуума. Намечены планы на дальнейшие работы.

Keywords: VACUUM CLAMP, PHOTORESIST COATING, SPIN COATING

Abstract

The article considers the development of a variant for mounting a substrate on a stand table for applying a liquid photoresist by centrifugation. The design of the model and its main components are described. The working drawings of the developed parts are given. The characteristics of pumps for creating a vacuum are analyzed. Plans for further work have been outlined.