Ключевые слова: LTCC, НИЗКОТЕМПЕРАТУРНАЯ КЕРАМИКА, ИЗОСТАТИЧЕСКОЕ ПРЕССОВАНИЕ, ПЛАЗМЕННОЕ ТРАВЛЕНИЕ

Аннотация

В данной статье представлены результаты исследования в области производства низкотемпературной совместно обжигаемой керамики (LTCC), которая широко применяется во многих сферах микроэлектронной промышленности, в том числе и при создании вакуумплотных корпусов для датчиков различного назначения. Оценено влияние технологических режимов ключевых этапов производства на размеры керамических заготовок посредством математического моделирования и регрессионного анализа. Представлены результаты экспериментальных исследований влияния плазменной обработки LTCC на гидрофильность поверхности.

Keywords: LTCC, LOW-TEMPERATURE CERAMIC, ISOSTATIC LAMINATION, PLASMA ETCHING

Abstract

This article presents the results of research in the field of production of Low-Temperature Co-fired Ceramic (LTCC), which is widely used in many areas of the microelectronic industry, including the creation of vacuum-tight enclosures for sensors. The influence of technological modes of key production stages on the size of ceramic blanks is estimated through mathematical modeling and regression analysis. The results of experimental studies of the effect of LTCC plasma treatment on the hydrophilicity of the surface are presented.