Ключевые слова: ТОНКАЯ ПЛЁНКА, ДИОКСИД ТИТАНА, МАГНЕТРОННОЕ РАСПЫЛЕНИЕ, ФОТОКАТАЛИЗ

Аннотация

Данная статья посвящена получению фотокаталитических тонких плёнок диоксида титана методом магнетронного распыления. Было изучено влияние отжига на образцы  плёнок TiO2 с разными условиями формирования. Проведено исследование фотокаталитических и оптических свойств образцов и представлены полученные результаты. Было выяснено, что процесс отжига помогает увеличить пропускание раствора образцов в среднем на 19%, что говорит и о повышении фотокаталитической активности.

Keywords: THIN FILM, TITANIUM DIOXIDE, MAGNETRON SPUTTERING, PHOTOCATALYSIS

Abstract

This article is devoted to the production of photocatalytic thin films of titanium dioxide by magnetron sputtering. The effect of annealing on TiO2 film samples under different formation conditions was studied. The photocatalytic and optical properties of the samples were studied and the results obtained were presented. It was found that the annealing process helps to increase the transmission of the sample solution by an average of 19%, which also indicates an increase in photocatalytic activity.