Ключевые слова: ДАТЧИКИ МАГНИТНЫХ ПОЛЕЙ, МАГНИТОРЕЗИСТИВНОСТЬ, ГАЗОЧУВСТВИТЕЛЬНЫЕ СЕНСОРЫ, ОСТРОВКОВАЯ ТОНКАЯ ПЛЕНКА

Аннотация

В работе представлены результаты исследований влияния режимов нанесения островковых тонких пленок кобальта, никеля и алюминия методом термического испарения. Приведены графические зависимости туннельного тока от времени нанесения. Представлено время формирования при различных значениях тока на блоке питания модуля термического испарения. Описаны физические процессы, происходящие на разных этапах формирования покрытий. Представлен анализ возможности внедрения островковых тонких пленок в датчики полей и сред.

Keywords: MAGNETIC FIELD SENSORS, MAGNETORESISTANCE, GAS-SENSITIVE SENSORS, INSULAR THIN FILM

Abstract

The paper presents the results of studies of the effect of the modes of deposition of insular thin films of cobalt, nickel and aluminum by thermal evaporation. Graphical dependences of the tunnel current on the application time are given. The formation time is presented at different current values on the power supply of the thermal evaporation module. The physical processes occurring at different stages of coating formation are described. The analysis of the possibility of introducing insular thin films into sensors of fields and media is presented.