Ключевые слова: СЕГНЕТОЭЛЕКТРИК, ИОННАЯ ОБРАБОТКА, ПЛАЗМА, ЭЛАСТОМЕР, ДАТЧИК ТЕМПЕРАТУРЫ, ВАКУУМ, ЕМКОСТЬ

Аннотация

Рассмотрена актуальность разработки эластичного датчика температуры на основе сегнетоэлектрического материала. Разработана технология изготовления чувствительного элемента сегнетоэлектрического гибкого датчика температуры. Проведено исследование влияния ионно-плазменной обработки на топологию эластичного материала. Экспериментально определена зависимость шероховатости эластомера от угла падения ионов и времени обработки. Показаны экспериментальные зависимости емкости чувствительного элемента от температуры.

Keywords: FERROELECTRIC, ION PROCESSING, PLASMA, ELASTOMER, TEMPERATURE SENSOR, VACUUM, CAPACITY

Abstract

The development relevance of an elastic temperature sensor based on ferroelectric material is considered. A manufacturing technology for the sensitive element of a ferroelectric flexible temperature sensor has been developed. The ion plasma treatment effect on the elastic material topology has been studied. The elastomer roughness dependence on the angle of ions incidence and processing time is derived. Experimental dependences of the capacitance of the sensing element on temperature are shown.