Ключевые слова: прозрачный электрод, многослойные структуры, легирование, подвижность

Аннотация

Выполнен анализ литературных данных о характеристиках и моделях транспорта носителей в трехслойных и многослойных структурах «металл/оксид». Изучено влияние составов и архитектуры сверхрешеток на достигаемые величины подвижностей носителей заряда и величины оптического пропускания.
Выдвинуты предложения по низкотемпературному синтезу металлических и аморфных оксидных слоев с высокой плотностью и однородностью. Определены оптимальные методы формирования аморфных слоев. Проанализированы перспективы использования многослойных структур «оксид/металл» и структур с модулированным легированием в индустрии ЖК (OLED) дисплеев и, в целом, в прозрачной электронике.

Keywords: transparent electrode, multilayer structures, doping, mobility

Abstract

The analysis of literature data on the characteristics and models of carrier transport in three-layer and multilayer metal/oxide structures has been carried out. The influence of the compositions and architecture of superlattices on the achievable values of charge carrier mobilities and optical transmission has been studied. Proposals have been put forward for the low-temperature synthesis of metallic and amorphous oxide fibers with high density and uniformity. The optimal ways of forming amorphous layers are determined. The prospects for using the “oxide/metal» multilayer structure and the structure with modulated doping in the display, as well as transparent electronics industries are analyzed.