Ключевые слова: плазма, оксид алюминия, рентгенограмма, аргон, кислород, шероховатость

Аннотация

В данной работе приведены результаты по исследованию влияния плазменной обработки на структуру оксида алюминия. Приведены рентгенограммы, подтверждающие изменение структуры оксида под действием ионов кислорода. Объяснено влияние добавления кислорода в газовую смесь на шероховатость поверхности оксида при плазменной обработке Al2O3.

Keywords: plasma, aluminum oxide, x-ray, argon, oxygen, roughness

Abstract

This paper presents the results of studying the effect of plasma treatment on the structure of aluminum oxide. X-ray diffraction patterns confirming the change in the structure of the oxide under the action of oxygen ions are presented. The effect of adding oxygen to the gas mixture on the surface roughness of the oxide during the plasma treatment of Al2O3 is explained.