Исследование особенностей формирования островковых тонких пленок кобальта для внедрения в устройства наноэлектроники
Сидорова С.В., Кирьянов С.В.
Ключевые слова: островковые пленки, тонкопленочные покрытия, многослойные островковые структуры, датчики полей, магнитные датчики, металлические тонкие пленки
Аннотация
В работе представлены результаты исследований влияния режимов нанесения островковых тонких пленок кобальта методом термического испарения. Приведены графические зависимости туннельного тока от времени нанесения. Представлено время формирования при различных значениях тока на блоке питания модуля термического испарения. Описаны физические процессы, происходящие на разных этапах формирования покрытий.Investigation of the cobalt islet thin films formation features for integration into nanoelectronics devices
Sidorova S.V., S.V. Kiryanov
Keywords: islet films, thin-film coatings, multilayer islet structures, field sensors, magnetic sensors, metal thin films