Оценка влияния предварительной обработки на формирование тонкопленочных покрытий с малыми значениями остаточных напряжений
Купцов А.Д., Сидорова С.В.
Ключевые слова: ионно-плазменные технологии, распыление, остаточные напряжения, ситалл, оксид алюминия, медь, шероховатость
Аннотация
В работе представлены результаты исследования влияния ионной обработки на адгезию пленки Al2O3 к подложке из ситалла и меди к многослоевой структуре Al2O3. Приведены результаты измерения профиля и шероховатости структур на профилометре. Показано, что ионная обработка ситалла в течение 2 минут протравливает поверхностный слой таким образом, что последующее нанесение покрытия Al2O3 толщиной до 50 нм не достигает изначального уровня подложки.Pretreatment effect evaluation on thin-film coatings formation with low residual stresses
Kuptsov A.D., Sidorova S.V.
Keywords: ion-plasma technologies, sputtering, residual stresses, sitall, aluminum oxide, copper, roughness