Ключевые слова: вакуумные технологии, ионно-плазменные технологии, ионное травление, формирование топологии

Аннотация

В работе приведены результаты исследований травления металлов методом ионно-плазменной обработки. Приведены результаты изготовления экспериментальных образцов частотных фильтров, полученных с использованием ионного травления. Приведены результаты исследования геометрических параметров полученной топологии.

Keywords: vacuum technologies, ion-plasma technologies, ion etching, topology formation

Abstract

The paper presents the results of metal etching studies by ion-plasma treatment. The results of frequency filters manufacturing experimental samples obtained using ion etching are presented. The results of the obtained topology the geometric parameters study are presented.