Ключевые слова: оксид титана, тонкие плёнки, магнетронное распыление, гидрофильность

Аннотация

Реактивное магнетронное распыление является наиболее перспективным методом получения плёнки из диоксида титана. Интерес к данному методу обусловлен высокой скоростью осаждения, высокой чистотой, хорошей адгезией получаемых покрытий, возможностью управления свойствами. В данной работе изучалось влияние толщины плёнки, концентрации аргона и кислорода и материала подложки на гидрофильные свойства плёнки оксида титана.

Keywords: titanium oxide, thin films, magnetron sputtering, hydrophilicity

Abstract

Reactive magnetron sputtering is the most promising method for producing a film from titanium dioxide. Interest in this method causes a particular tendency to sticker, exceptional cleanliness, good adhesion of surface surfaces, choice of control. In this paper, the influence of the film thickness, the concentration of argon and oxygen and the substrate material on the hydrophilic properties of the titanium oxide film was studied.