Вакуумный привод с электрореологическим управлением
Базиненков А.М., Михайлов В.П., Шахов Д.С., Жуков М.Е.
Ключевые слова: вакуум, привод, электрореологическая жидкость, скорость перемещения, гидравлика, дроссель, расход
Аннотация
К современному вакуумному оборудованию предъявляются чрезвычайно жесткие требования по точности обеспечения параметров движения объекта. Тонкие пленки, нанесенные в вакууме, используются в качестве антифрикционных покрытий режущего инструмента и машиностроительных пар трения. Для обеспечения равномерности нанесенной пленки часто необходимо осуществлять перемещение с высокой точностью позиционирования и равномерностью скорости. Наиболее эффективное управление скоростью движения осуществляется в пневматических и гидравлических приводах.В работе рассмотрен вакуумный привод с электрореологическим управлением, способный с высокой точностью совершать перемещения. Это достигается за счет применения в качестве рабочей жидкости гидравлической части интеллектуального материала, электрореологической жидкости, способной мгновенно изменять свои реологические свойства под действием внешнего электрического поля.
В работе обнаружена проблема низкой эффективности регулировки скорости на больших скоростях перемещения привода.
Определены возможные причины низкой эффективности регулировки скорости с помощью гидродинамического расчёта на высоких скоростях штока привода.
Vacuum drive with electrorheological controls
Bazinenkov A.M., Mikhailov V.P., D.S.Shakhov, M.E.Zhukov
Keywords: vacuum, drive, electrorheological fluid, movement speed, hydraulics