Ключевые слова: электронно-лучевая пушка, электронно-лучевая обработка, электронный пучок, метод вращающегося зонда, неопределенность измерений

Аннотация

Для электронно-лучевой размерной обработки необходимо знать фактическое значение диаметра электронного пучка. Однако точное его значение можно определить только экспериментальным путем. В статье реализован модернизированный метод вращающегося зонда, в котором вращающаяся проволока заменена на неподвижную вольфрамовую пластину, а вместо вращения использовано сканирование электронного пучка по прямой линии. В результате получены значения диаметра электронного пучка электронно-лучевой пушки ЭЛТА-60.15ДП на установке электронно-лучевой обработки «ЛУЧ» в диапазоне тока пучка от 1 до 20 мА.

Keywords: electron-beam gun, electron-beam treatment, electron beam, rotating probe method, measurement uncertainty

Abstract

For electron-beam sizing it is necessary to know the actual value of the electron beam diameter. However, its exact value can only be determined experimentally. In this article, an upgraded rotating probe method is implemented, in which the rotating wire is replaced by a stationary tungsten plate, and instead of rotation, scanning of the electron beam in a straight line is used. As a result, the values of the electron beam diameter of the ELTA-60.15DP electron-beam gun at the "LUCH" electron-beam treatment facility in the beam current range from 1 to 20 mA were obtained.