Ключевые слова: ионная обработка, плазма, эластомер, эластичные материалы, атомно-силовая микроскопия

Аннотация

Рассмотрены области применения эластичных материалов. Отмечена необходимость нанесения металлизации и целесообразность проведения предварительной ионно-плазменной обработки эластомера. Отработаны режимы ионно-плазменной обработки. Описано технологическое оборудование. Представлены результаты исследований шероховатости и рельефа поверхности эластомера на атомно-силовом микроскопе образцов до обработки и после ионно-лучевой и плазменной обработок. Выбраны режимы ионно-плазменной обработки для металлизации.

Keywords: ion processing, plasma, elastomer, elastic materials, atomic force microscopy

Abstract

The fields of application of elastic materials are considered. The necessity of metallization application and the expediency of carrying out preliminary ion-plasma treatment of the elastomer are noted. The ion-plasma treatment modes have been worked out. Technological equipment is described. The results of studies of the roughness and relief of the elastomer surface on an atomic force microscope of samples before and after ion-beam and plasma treatments are presented. The modes of ion-plasma treatment for metallization are selected.