Перспективные вакуумно-плазменные процессы и экспериментальное оборудование
Одиноков В.В.
Ключевые слова:
Аннотация
Рассмотрены актуальные вакуумно-плазменные процессы и экспериментальное оборудование: атомно-слоевое осаждение, плазмохимическое травление, формирование мелкощелевой изоляции и очистка поверхности пластин.
Odinokov V.V.
Keywords: