Применение встроенного магнитного электроразрядного насоса в процессе откачки ЭВП
Брылёва Д.Н., Вашин С.А., Климова Н.Н., Корепин Г.Ф.
Ключевые слова:
Аннотация
В работе рассмотрены некоторые проблемы, которые возникают в процессе откачки и обезгаживания ЭВП на откачном посту. Показаны способы контроля процесса откачки, возможности применения магнитного электроразрядного насоса (МЭН) в качестве средства откачки и преобразователя давления, определения давления, соответствующего молекулярному течению газа в ЭВП на любом этапе откачки, оптимизации некоторых процессов откачки, измерения проводимости вакуумной системы откачного поста.
, , ,
Keywords: